显微式激光多普勒测振仪LV-S01-M

显微式激光多普勒测振仪系统介绍:

显微式激光测振仪LV-S01-M是在单点式激光测振仪系统基础上结合显微镜升级的激光测振系统,通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量,可以准确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌,激光光斑达微米量级;显微式激光测振仪并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态(频率、速度、加速度、位移)以及可通过白光干涉测量物体形貌特征等多维信息。

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显微式激光测振仪技术指标如下:

显微式激光多普勒测振仪LV-S01-M

工作温度

3℃-45℃

工作湿度

<90%

电 源

220-240Vrms,50~60Hz  

激光波长

He-Ne Laser 632.8nm

激光安全等级

Class II

速度量程

10m/s

输出电压

±10V

频率范围

DC-3MHz

滤波设置

高通,低通滤波设置

最大线性误差

1%

机 架

反射用机架,低手位粗微同轴调焦机构。

粗调行程25mm,微调精度0.001mm。

带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。

内置100-240V宽电压系统。

光学参数

检测器尺寸:1/2;测量距离:9mm(使用10X物镜时)

观测装置

CMOS数码相机:320万像素(USB2.0)

速度分辨率

高于0.01μms-1/Hz

位移分辨率

高于15pm

速度解码器

VD-16数字速度解码器

位移解码器

DD-16数字位移解码器、DD-21数字位移解码器


显微式激光多普勒测振仪系统功能特点:

➢ 非接触测量,无负载;

➢ 激光光斑很小,微米级;

➢ 高空间分辨率;

➢ 工作距离可选;

➢ 高灵活性、易安装、易操作;

➢ 振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗冲击强、测量精度高;

➢ 配有同轴照明装置和相机,可以方便迅速地确定测量位置。


显微式激光测振仪的部分应用场景:

➢ 微机电系统(MEMS)动态测试;

➢ 医学/动物学研究,如昆虫等生物活体的振动特性测量;

➢ 计算机外设的动态测试:硬盘驱动器/光盘机/磁带机等;

➢ 超声振动测量;

➢ 压电陶瓷振动测量;

➢ 弦线/丝线振动特性测量;

➢ 微型陀螺仪振动测量。

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显微式激光测振仪尺寸图如下:

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在显微式单点激光测振仪基础上结合扫描式激光测振仪可以升级为显微扫描式全场激光测振仪,

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